Bachelor's Thesis

Ellipsometrische Charakterisierung von TiNx Dünnfilmen

Ellipsometrie

 

Wegen ihrer bemerkenswerten Kombination aus physikalischen Eigenschaften (Härte, Elastizität, Leitfähigkeit, etc) und chemischer Beständigkeit haben TiNx- Filme vielfältige Anwendungen in der Industrie. In Zusammenarbeit mit einem Industriepartner sollen Magnetron-gesputterte TiNx-Filme mit spektroskopischer Ellipsometrie über einen weiten Wellenlängenbereich vom UV bis ins nahe IR charakterisiert werden. Ziel der Arbeit ist es einen tieferen Einblick in die optischen und elektronischen Eigenschaften der Filme in Bezug zu ihrer Mikrostruktur und ihrer Stöchiometrie zu bekommen. Hierfür sind ergänzende Röntgenbeugungs- und TEM-Untersuchungen geplant. Interessenten melden sich bitte bei:

Dr. Bruno Gompf

Bruno Gompf
Dr.

Bruno Gompf

Ellipsometry

Martin Dressel
Prof. Dr. rer. nat.

Martin Dressel

Head of Institute

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